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激光式位移傳感器

常用的高精度激光式位移傳感器主要是采用激光三角測量法原理制成的，激光發(fā)射器將激光射向被測物體表面，位移傳感器內(nèi)部的線性相機(jī)接受經(jīng)物體反射回來的激光，通過內(nèi)部數(shù)字信號(hào)處理器計(jì)算出傳感器和被測物體之間的距離。測量范圍為0~2m；測量精度達(dá)到0.2μm/m；線性度達(dá)到0.1%，優(yōu)點(diǎn)是非接觸、結(jié)構(gòu)簡單、抗干擾，適應(yīng)性強(qiáng)、速度快等；缺點(diǎn)是測量成本高、對環(huán)境要求高等。